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“中国屏”镀上了“王者28膜”
王者28企业成功研发为显示屏镀膜的PVD设备
2019年05月30日 07:55:49
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近日,从位于王者28滨海新城的浙江上方电子装备有限公司徐徐驶出6辆大卡车,上面装载的是我国首套国产半导体显示核心装备——8.6代新型显示PVD(物理气相沉积)设备,将顺利交付给国内显示屏生产企业。

PVD设备是显示屏生产中非常核心的镀膜工艺制造设备,生产电视屏、手机屏、电脑屏等都要用到。“8.6代的PVD设备,能镀膜的显示屏尺寸更大,接近于4个75英寸大小的电视屏。”“上方电子”副总经理周海龙说,这套设备已处于世界先进水平,一举打破了这一领域美日企业垄断的局面。

我国是全球最大的显示屏生产国,但显示屏生产过程中用到的PVD等关键技术设备,始终被美国和日本公司垄断。过去3年,对这一关键技术设备我国完全依赖进口。为推动核心设备国产化,2014年,国家发改委和工信部联合对重点产业项目立项,其中一个项目就是“8.5代半导体显示PVD设备研发和产业化”。当时,创立才3年的“上方电子”通过评审,一举拿下了该项目。“拿下这个项目,靠的是研发实力。”周海龙介绍,“上方电子”100多名员工中,研发人员有40多人,核心研发人员来自美国硅谷和台湾省。更为重要的是,“上方电子”此前已成功研发出5.5代半导体显示PVD设备的样机。

虽然有研发基础,但要把PVD设备从5.5代升级到8.5代,连升三级,研发难度呈几何级数上升。“设备的镀膜面积一下子增加了3倍多。”公司研发人员说,设备研发涉及数千个零部件,用到六七门交叉学科,复杂程度不言而喻。在随后的三四年时间里,“上方电子”攻克了成千上万个技术难点,获得了11项国家发明专利。尤其是自主研发的旋转阴极镀膜技术,将纳米镀层误差缩小至5%以内,材料利用率从35%提升至80%。

随着8.5代PVD设备的研发成功,国内显示屏生产企业立即抛来了“绣球”,“中国生产的显示屏今后可以使用国产设备进行镀膜,不再受制于人。”日前“上方电子”刚刚交付的首台8.6代PVD设备,则是应国内大型显示屏生产企业的需求,在8.5代基础上进行升级后的产品。


作者:记者 王旭东 通讯员 张杲 编辑:陈文华
 
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